1. 제품 특징

초음파가 실린 세정액을 노즐에서 분사


반도체 웨이퍼, 하드 디스크, FPD 등의 매엽 세정에 적당하며, 작은 양의 액체로 깨끗하고 효율적인 표면 및
Edge 세정이 가능하다.

- 430kHz, 950kHz, 2MHz, 3MHz 모델이 있다. 세정 얼룩이 없으며, 극세 패턴에 데미지를 주지 않는다.
- 특허 진동자 구조로 강력한 Megasonic 음파를 뛰어난 효율로 조사한다. 높은 세정 효과를 기대할 수 있다.
- 노즐 부분은 고순도 석영을 사용하여 고정도 세정이 가능하다. 또한 스테인리스 노즐도 준비되어 있다.

2. 제품 사양