액정 글라스 및 반도체 웨이퍼 매엽 세정기에 최적
워터 커튼에 QUAVA 950kHz(메가소닉 대역) 초음파를 탑재하여 데미지 발생을 최소화한
고정밀 매엽식 세정을 실현한 제품이다.

1. 제품 특징
- 샤워와 초음파의 동시 세정이므로 재부착 없이 초정밀 세정이 가능하다.
- Kaijo 사의 독자적인 음파 집중 방식 기술을 적용하여 뛰어난 세정 효율을 발휘한다.
- FPD 기판의 뒷면 세정도 세정액을 상향 분사 하면 가능하다.

액정 글라스 매엽 세정장치에 적용한 사례 (US SHOWER 사용 예)

2. 제품 사양