반도체 및 HDD 등의 극세립자 제거에 최적

QUAVA 750kHz, 950kHz(메가소닉 대역)는 반도체 및 액정, HDD 등에 요구되는 극세립자 제거에 최적이다.
진동자는 스테인리스 진동판 외에 용도에 따라 석영조 및 스테인리스 세정조, 탄탈륨 진동판 등을 제공할 수 있다.
하이메가소닉 101시리즈의 기능이 탑재되어 있어 세정장비에 설정 변경없이 적용이 가능하다.
반도체용 세정장치 에 대응한 각종 외부 컨트롤 기능(RS-485, DeviceNet, 8단계 출력설정, 각종 경보단자 등)을 탑재하고 있다

반도체 웨이퍼 및 액정용 글라스, HDD부품 세정에 최적

1. 제품 특징
- 세정얼룩이 적고, 극세 패턴에 데미지를 거의 주지 않기 때문에 반도체 웨이퍼 및 HDD 부품등 초정밀세정에 최적.
- 10⁵G 중력 가속도 및 화학적 작용으로 서브 미크론 크기의 파티클 제거.
- 세정물 및 장치에 대응한 각종형상의 진동자 제공.
- 접액부 재질은 세정액 및 청정도에 따라 스테인리스, 탄탈륨, 석영 등으로 제작이 가능하다.
- 진동자는 대형 PZT를 적용하여 세정얼룩을 최소화 하였으며, 긴 수명을 자랑한다