※ Semi Production Type 정밀 연마 시스템 (MA-600e SP)

- MA-600e SP는 대경 제품 연마에 최적인 정밀 연마 시스템입니다.
- Φ600mm 사이즈까지의 제품을 주축 테이블에 고정하여 랩핑 및 폴리싱, CMP가공을 하는 상면 연마방식의 연마 시스템입니다.
- 연마정반에는 요동장치가 장착되어 있어 워크 전체를 균일하게 연마할 수 있습니다.
- 가압 축의 요동 폭은 주축 테이블의 중앙을 기준으로 -275mm ~ +275mm이며, 여러 종류의 연마 정반을 가압 축 헤드에 장착하여 가공영역을 조정할 수 있습니다.