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PRODUCTGAONST Product Introduction
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세미오토 웨이퍼 마운팅 시스템 ( LTP-250 )
1. 장치의 특징
본 장치는 연마 할 제품을 워크 홀더 (세라믹, 글라스, 금속)에 왁스로 접착 할 때
발생할 수 있는 문제를 해결하는 장치이다.
장치 사양에 따라 연마면의 평탄화 및 초박막 제품 가공도 가능하다.
1-1. 장점
- 가공물의 연마면 평탄화 향상
- 가공물의 연마면 평행도 향상
- 왁스 막 두께의 균일화
- 왁스 막 내의 기포 제거
- 왁스 막의 뒤틀림 개선
- 왁스 막 두께의 박막화
1-2. 주요 특징
① 접합 할 떄 진공 탈기로 기포없이 접합이 가능하다.
왁스에 포함되어 있는 기포 및 웨이퍼를 접합 할 떄 들어온 기포 등
진공 상태에서 접합이 이루어지기 때문에 기포 없이 접합이 가능하다.
② 접합 압력은 상실부의 공기압에 의한 다이아프램 방식 (에어백)
공기압력에 따라 가공물을 균등하게 가압하기 때문에 가공물에 얼룩없이
균일하게 접합이 가능하다.
③ 접합 설정은 시퀀스에 의해 컨트롤
가공물을 접합하는 일련의 작업을 시퀀스와 온도 컨트롤에 의해 제어되므로
작업 조건이 설정되면 세미 오토 작업이 가능하다.
④ 냉각은 간접 수냉식으로 하강온도 시간을 컨트롤 할 수 있다.
왁스의 경화시간 (냉각시간)이 설정 가능하므로 급속 냉각에 따른 왁스의
수축을 막을 수 있다.
1-3. 핫 플레이트, 진공, 하부 수냉식 슬루프 제어기능점
▶ 핫 플레이트 : SUS304 상온 20˚C ~ 180˚C
▶ 가압 : 파이톤 0.5mm (3mm)로 부풀어 오르는 방식
정밀 레귤레이터 + 디지털 표시
▶ 온도 :
온도를 180˚C 까지 올리는 속도 : 15분 ~ 최대 약 1시간
일정하게 온도를 유지 : 1분 ~ 99분 설정 (냉각수 50cc/분)
온도를 180˚C 에서 20°C 까지 내리는 속도 : 12분 (냉각수 500cc/분),
최대 약 99분
▶ 제어 : 시퀀스 제어+오므론 온도 컨트롤러로 냉각수와 히터 On/Off를 제어한다.
▶ 안전 : 써모센서가 약 180°C 를 넘을 경우 히터를 자동 off시킨다.
1-4. 동작 개요
2. 장치 사양 (LTP-250)
2-1. 워크 홀더부
⑴ 워크 직경 : Φ250mm
⑵ 핫 플레이트 온도 설정 범위 : 20˚C ~ 180°C
⑶ 핫 플레이트 온도 표시 : 디지털 표시
⑷ 핫 플레이트용 히터 : 2kW (400W x 6개)
⑸ 베이스 플레이트 재질 : SUS304
⑹ 과열 대책 : 써모센서에 의한 자동 OFF (상한 180°C)
2-2. 워크 가압부 (상실)
⑴ 접착 방법 : 에어가압 (다이아프램 방식)
⑵ 워크 접합 재질 : 고무 (실리콘 고무)
⑶ 압력(가압)설정 : 정밀 레귤레이터
⑷ 압력(가압)표시 : 디지털 압력 스위치
⑸ 압력(가압)범위 : 임의 설정 ( ~ 1.0Mpa )
⑹ 압력(가압)시간 : 1분 ~ 99분
⑺ 인터록 : 있음 (압력 스위치로 설정)
⑻ 압력 해제 : 터치패널에서 해제 타이밍 설정가능
터치패널에서 가압해제의 온도설정 가능
2-3. 진공부 (하실)
⑴ 진공 방법 : 진공펌프 (외부 설치)
⑵ 진공 펌프 : G-20DA
⑶ 진공 설정 : 임의설정
⑷ 진공 표시 : 디지털 압력 스위치
⑸ 인터록 : 있음 (압력 스위치로 설정)
2-4. 냉각 기구부
⑴ 냉각 방법 : 냉각수 (간접냉각)
⑵ 냉각수 : 항온저온수 순환장치 (칠러유닛)
* 시수 또는 공업용수도 가능 (필터링 필요)
⑶ 냉각수 유량계 : 냉각수 유량
⑷ 냉각 제어 : 씨퀀스 제어
2-5. 제어부
⑴ 제어 방법 : 씨퀀스 제어 + 온도 조절 블록
씨퀀스 (FX2N-16MR)
온도조절 (FX2N-2LC)
⑵ 조작 패널 : 그래픽 오퍼레이션
2-6. 유틸리티
⑴ 입력 전원 : AC200V 50/60Hz
⑵ 소비 전력 : 30A
⑶ 비상 정지 : 비상정지 버튼 있음
⑷ 냉각수 IN : R 1/2
⑸ 냉각수 OUT : R 1/2
⑹ 입력 AIR : R 3/8 (0.5 Mpa)
⑺ 진공 : R 3/8
2-7. 본체 크기 : W750mm x D620mm x H680mm
2-8. 본체 무게 : Approx. 60kg
2-9. 소모품 : 에어백 실리콘 고무
