HTP-500

- 진공 챔버 시스템
- 히터 플레이트 시스템
- 에어백 시스템
- 2단계 냉각 시스템
- 웨이퍼 리프트 시스템
 

주요 기능의 특징

1) 왁스 막 압력의 균일화
2) 왁스 막의 틀어짐 개선
3) 왁스 막의 박막화
4) 왁스 막내의 탈기포


진공 에어백 점착장치

1) ~ 4)를 실현하기 위해서는 하기 도면과 같은 구조가 필요하다



도면의 기구는 실내를 진공으로 하고, 왁스 층 내부를 탈기한 후 에어백 가압(풍선가압)으로 웨이퍼를 균일하게 가압한다.
이후 온도관리 된 냉각수를 공급하여 왁스를 경화시킨다.
냉각수에 의한 냉각도 약냉에서 급속 냉각으로 2단계로 냉각시켜 왁스의 틀어짐 현상을 방지한다.


세미오토 웨이퍼 마운팅 시스템



진공 챔버 내 대구경 에어 백 시스템



오토 리프트 플레이트 & 2스텝 냉각 시스템



Ø 3 inch 웨이퍼 x 19장 마운팅



1 Batch / 19장 점착 정도 1µm