-
PRODUCTGAONST Product Introduction
3 / 5
LJP-24
HIGH PRECISION SINGLE SIDE LAPPING MACHINE
거치형 고강성 본체를 바탕으로 초정밀 가공 정밀도를 유지할 수 있도록 설계.
| LJP-24 Specification | |
| 랩핑 플레이트 직경 | Ø 610mm |
| 최대 웨이퍼 직경 | Ø 200mm |
| 웨이퍼 동시 가공 수 | 3장 / Batch |
| 웨이퍼 강제 회전구동 | 옵션 |
| 웨이퍼 요동구동 | 없음 |
| 웨이퍼 가압기구 | 있음 |
| 랩핑 플레이트 냉각기구 | 옵션 |
| 페이싱 기구 | 없음 |
| 랩핑 플레이트 축 베어링 타입 | 정밀 베어링 |
| 조작 패널 | 액정 터치 패널 |
| 제어 방법 | PLC 시퀀스 |
| 가공 조건 등록 | 있음 |
| 전원 | 200V, 50/60Hz |
| 전기 용량 | 25A |
| 에어 용량 | 0.5Mps |
| 장비 사이즈 | W1,440mm x D 1,50mm x H 2,020mm |
| 장비 중량 | Approx. 2,200kg |
문의사항